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TOC超純水設(shè)備
微電子行業(yè)制備超純水流程中，因紫外線技術(shù)在超純水高品質(zhì)要求中不引入新的物質(zhì)，而得到廣泛應(yīng)用。
有機物是超純水系統(tǒng)中最難控制的污染，隨著集成電路臨界尺寸不斷縮小挑戰(zhàn)，對超純水中TOC值的要求越來越高，因此，如何配置紫外線，如何確認配置中紫外線設(shè)備的有效紫外劑量，進而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高，安力斯將為您解決這些運營困擾。
185nmUV主要用于去除超純水制備過程中的TOC，使出水滿足美國ASTM超純水水質(zhì)標準及電子工業(yè)部電子級水水質(zhì)標準。
產(chǎn)品介紹：
EX-UPW-TOC產(chǎn)品系列是一款適用于超純水 (UPW) 制備中對總有機碳 (TOC) 進行降解的可靠系統(tǒng)。通過更高185nm穿透率、實時在線的紫外線強度監(jiān)測、本地/遠程的智能控制，實現(xiàn)高效、安全可控的總有機碳 (TOC) 降解。該設(shè)備在超純水制備工藝中，可使超純水TOC降至1ppb以下。
產(chǎn)品主要組成：高強度185nm的紫外燈管，高輸出石英套管，內(nèi)外電解拋光的一體化紫外反應(yīng)器，高度精確的UV強度傳感器及智能自控系統(tǒng)組成。
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TOC超純水設(shè)備
產(chǎn)品規(guī)格：
處理水量 | 2~60m3/h |
燈管配置 | 12~48支 |
燈管類型 | 85w/155w(185/254nm雙波段) |
石英套管 | T＞80%@185nm |
鎮(zhèn)流器 | 50~100%輸出功率可調(diào) |
反應(yīng)器材質(zhì) | 316L |
潔凈等級 | 內(nèi)外電解拋光、表面光潔度10以上（≤Ra0.2） |
法蘭尺寸 | DN50~DN200 |
額定壓力 | PN10 |
控制柜等級 | IP55，碳鋼噴塑 |
控制系統(tǒng) | 本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統(tǒng) |
UV強度傳感器 | 分辨率0.01mw/cm2 |
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郵箱：zhangjun@onyxepi.com
