臭氧發生器是用于制取臭氧的設備裝置，臭氧易于分解無法儲存需現場制取現場使用（但是在特殊的情況下是可以進行短暫時間的儲存），凡是能用到臭氧的場所均需使用到它。在自來水，污水，工業氧化，空間滅菌等領域廣泛應用。我們知道，臭氧是廣譜高效殺菌消毒劑。采用空氣或氧氣為原料利用高頻高壓放電產生臭氧。臭氧比氧分子多了一活潑的氧原子，化學性質特別活潑,是一種強氧化劑，在一定濃度下可迅速殺滅空氣中的細菌。
臭氧的濃度與作用：
臭氧為混合氣體其濃度通常按質量比和體積比來表示。質量比是指單位體積內混合氣體中含有多少質量的臭氧，常用單位mg/L或g/m3等表示。體積比是指單位體積內臭氧所占的體積含量或百分比含量，使用百分比表示如2%、5%、12%等。衛生行業常用ppm表示臭氧濃度，即每立方臭氧混合氣體中臭氧占該體積的百萬分之一為1ppm。臭氧濃度是衡量臭氧發生器技術含量和性能的重要指標。同等的工況條件下臭氧輸出濃度越高其品質度就越高。
影響臭氧濃度的因素：
1、臭氧發生器的結構和加工精度；
2、冷卻方式和條件；
3、驅動電壓和驅動頻率；
4、介電體材料；
5、原料氣體中氧的含量及結凈和干燥度。
電廠脫硝工藝一般采用SCR工藝，在一定溫度和催化作用下，利用加氨還原的方法把氮氧化物還原為氮氣。臭氧可以利用其強氧化性把不可溶的低價態的氮氧化物氧化成可溶的高價態的氮氧化物，再利用堿化吸收洗滌工藝清除掉。臭氧煙氣脫硝不需要增高煙氣的溫度；不使用氨等還原劑；在NOx含量、煙氣量不穩定條件下，控制靈活；維持90%以上的脫除率；同時處理重金屬；可配合同時實現脫硫。
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